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乙矽烷

乙矽烷(英語:Disilane),又稱矽乙烷,是一種有毒的化合物,分子式為Si2H6,在室溫下为气態。它的性質與乙烷很類似,都是無色易燃的氣體,但是它的矽-矽鍵比乙烷的碳-碳鍵還來的弱,因此比乙烷還不穩定。乙矽烷通常是很好的來源,只要經過簡單的化學反應就可以得到氫。另外它也可以用來以薄膜沉積製備純,是半導體工業重要的特用電子級氣體之一[3]

乙矽烷
识别
CAS号 1590-87-0  
PubChem 74123
ChemSpider 66736
SMILES
InChI
InChIKey PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYAQ
Gmelin 368
ChEBI 30597
性质
化学式 Si2H6
摩尔质量 62.219 g·mol⁻¹
外观 無色可燃氣體
密度 2.66 kg/m3(15℃)[1]
0.69 g·cm−3(−25 °C)[1]
熔点 -132.5 °C(141 K)([1]
沸点 -14.5 °C(259 K)([1]
溶解性 分解[1]
蒸氣壓 2940.2±0.0 mmHg at 25°C[2]
结构
分子构型 三斜晶系
偶极矩 0
危险性
主要危害 可燃,對皮膚會造成刺激
闪点 非常容易閃燃
相关物质
相关矽烷 SiH4
若非注明,所有数据均出自一般条件(25 ℃,100 kPa)下。

制备

乙硅烷通常由硅化镁水解而成。反应会产生甲硅烷、乙硅烷、甚至丙硅烷。该方法已被放弃用于生产甲硅烷,但它仍然可以用于生产乙硅烷。[4]痕量乙硅烷的存在是该方法产生的甲硅烷自燃的原因(类似地,二磷烷通常是磷化氢样品中自发自燃的污染物)。

甲硅烷通过光化学反应英语photochemical reaction[5]和热分解,也可以产生乙硅烷。

它也可以通过 Si2Cl6氢化铝锂反应而成。[6]

应用

甲硅烷和乙硅烷在 640 °C下分解,会沉积非晶硅。这个化学气相沉积过程与光伏器件的制造有关。[4]它用于生产硅晶圆[7]

乙硅烷气体可用于控制 SiC 热分解生长石墨烯过程中,Si 蒸气的压力。 Si蒸气的压力会影响生产的石墨烯的质量。[8]

参考资料

  1. ^ 1.0 1.1 1.2 1.3 1.4 Record of Disilan in the GESTIS Substance Database from the IFA英语Institute for Occupational Safety and Health
  2. ^ . [2021-07-11]. (原始内容存档于2021-08-09). 
  3. ^ (PDF). [2018-07-02]. (原始内容 (PDF)存档于2015-09-21). 
  4. ^ 4.0 4.1 Barry Arkles "Silicon Compounds, Silanes" in Kirk-Othmer Encyclopedia of Chemical Technology John Wiley & Sons, New York, 1997. DOI: doi:10.1002/0471238961.1909120101181112.a01.
  5. ^ US Patent 4,604,274
  6. ^ P. W. Schenk "Silanes" in Handbook of Preparative Inorganic Chemistry, 2nd Ed. Edited by G. Brauer, Academic Press, 1963, NY. Vol. 1. p. 680.
  7. ^ Disilane 互联网档案馆的,存档日期September 27, 2004,.
  8. ^ Mishra, N. , Boeckl, J. , Motta, N. and Iacopi, F. (2016), Graphene growth on silicon carbide: A review. Phys. Status Solidi A, 213: 2277-2289. doi:10.1002/pssa.201600091 (check page 2280)

外部链接

乙矽烷, 英語, disilane, 又稱矽乙烷, 是一種有毒的化合物, 分子式為si2h6, 在室溫下为气態, 它的性質與乙烷很類似, 都是無色易燃的氣體, 但是它的矽, 矽鍵比乙烷的碳, 碳鍵還來的弱, 因此比乙烷還不穩定, 通常是氫很好的來源, 只要經過簡單的化學反應就可以得到氫, 另外它也可以用來以薄膜沉積製備純矽, 是半導體工業重要的特用電子級氣體之一, 识别cas号, 1590, pubchem, 74123chemspider, 66736smiles, sih3, sih3, inchi, h6si. 乙矽烷 英語 Disilane 又稱矽乙烷 是一種有毒的化合物 分子式為Si2H6 在室溫下为气態 它的性質與乙烷很類似 都是無色易燃的氣體 但是它的矽 矽鍵比乙烷的碳 碳鍵還來的弱 因此比乙烷還不穩定 乙矽烷通常是氫很好的來源 只要經過簡單的化學反應就可以得到氫 另外它也可以用來以薄膜沉積製備純矽 是半導體工業重要的特用電子級氣體之一 3 乙矽烷识别CAS号 1590 87 0 PubChem 74123ChemSpider 66736SMILES SiH3 SiH3 InChI 1 H6Si2 c1 2 h1 2H3InChIKey PZPGRFITIJYNEJ UHFFFAOYAQGmelin 368ChEBI 30597性质化学式 Si2H6摩尔质量 62 219 g mol 外观 無色可燃氣體密度 2 66 kg m3 15 1 0 69 g cm 3 25 C 1 熔点 132 5 C 141 K 1 沸点 14 5 C 259 K 1 溶解性 水 分解 1 蒸氣壓 2940 2 0 0 mmHg at 25 C 2 结构分子构型 三斜晶系偶极矩 0危险性主要危害 可燃 對皮膚會造成刺激闪点 非常容易閃燃相关物质相关矽烷 SiH4若非注明 所有数据均出自一般条件 25 100 kPa 下 目录 1 制备 2 应用 3 参考资料 4 外部链接制备 编辑乙硅烷通常由硅化镁的水解而成 反应会产生甲硅烷 乙硅烷 甚至丙硅烷 该方法已被放弃用于生产甲硅烷 但它仍然可以用于生产乙硅烷 4 痕量乙硅烷的存在是该方法产生的甲硅烷自燃的原因 类似地 二磷烷通常是磷化氢样品中自发自燃的污染物 甲硅烷通过光化学反应 英语 photochemical reaction 5 和热分解 也可以产生乙硅烷 它也可以通过 Si2Cl6 和氢化铝锂反应而成 6 应用 编辑甲硅烷和乙硅烷在 640 C下分解 会沉积非晶硅 这个化学气相沉积过程与光伏器件的制造有关 4 它用于生产硅晶圆 7 乙硅烷气体可用于控制 SiC 热分解生长石墨烯过程中 Si 蒸气的压力 Si蒸气的压力会影响生产的石墨烯的质量 8 参考资料 编辑 1 0 1 1 1 2 1 3 1 4 Record of Disilan in the GESTIS Substance Database from the IFA 英语 Institute for Occupational Safety and Health Disilane CAS 1590 87 0 2021 07 11 原始内容存档于2021 08 09 台灣特品化學公司 PDF 2018 07 02 原始内容 PDF 存档于2015 09 21 4 0 4 1 Barry Arkles Silicon Compounds Silanes in Kirk Othmer Encyclopedia of Chemical Technology John Wiley amp Sons New York 1997 DOI doi 10 1002 0471238961 1909120101181112 a01 US Patent 4 604 274 P W Schenk Silanes in Handbook of Preparative Inorganic Chemistry 2nd Ed Edited by G Brauer Academic Press 1963 NY Vol 1 p 680 Disilane 互联网档案馆的存檔 存档日期September 27 2004 Mishra N Boeckl J Motta N and Iacopi F 2016 Graphene growth on silicon carbide A review Phys Status Solidi A 213 2277 2289 doi 10 1002 pssa 201600091 check page 2280 外部链接 编辑Cost Effective Method for the Synthesis of Polysilanes Disilane 取自 https zh wikipedia org w index php title 乙矽烷 amp oldid 71849905, 维基百科,wiki,书籍,书籍,图书馆,

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