^N. C. de Lucas; J. C. Netto-Ferreira; J. Andraos; J. C. Scaiano. Nucleophilicity toward Ketenes: Rate Constants for Addition of Amines to Aryl Ketenes in Acetonitrile Solution. J. Org. Chem. 2001, 66 (5): 5016–5021. PMID 11463250. doi:10.1021/jo005752q.
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^Integrated Circuits: A Brief History. [2018-08-30]. （原始内容于2020-02-22）.
十二月 31, 2023
重氮萘醌, 此條目需要补充更多来源, 2018年8月31日, 请协助補充多方面可靠来源以改善这篇条目, 无法查证的内容可能會因為异议提出而被移除, 致使用者, 请搜索一下条目的标题, 来源搜索, 网页, 新闻, 书籍, 学术, 图像, 以检查网络上是否存在该主题的更多可靠来源, 判定指引, 英語, diazonaphthoquinone, 是萘醌的重氮衍生物, 一旦曝光, 它将经历沃尔夫重排反应以形成烯酮, 在半导体行业中, 各种的衍生物可被用作光刻胶的感光劑, iupac名2, diazo, naphthalen. 此條目需要补充更多来源 2018年8月31日 请协助補充多方面可靠来源以改善这篇条目 无法查证的内容可能會因為异议提出而被移除 致使用者 请搜索一下条目的标题 来源搜索 重氮萘醌 网页 新闻 书籍 学术 图像 以检查网络上是否存在该主题的更多可靠来源 判定指引 重氮萘醌 英語 diazonaphthoquinone 是萘醌的重氮衍生物 一旦曝光 它将经历沃尔夫重排反应以形成烯酮 1 在半导体行业中 各种重氮萘醌的衍生物可被用作光刻胶的感光劑 重氮萘醌IUPAC名2 Diazo 2H naphthalen 1 one别名 1 2 Naphthoquinone diazide识别CAS号 879 15 2PubChem 9815339ChemSpider 7991089SMILES O C C C C2 N N C1 C2C CC C1InChI 1 C10H6N2O c11 12 9 6 5 7 3 1 2 4 8 7 10 9 13 h1 6HInChIKey URQUNWYOBNUYJQ UHFFFAOYAU性质化学式 C10H6N2O摩尔质量 170 17 g mol 1若非注明 所有数据均出自标准状态 25 100 kPa 下 在半导体制造的過程中 重氮萘醌的磺酸酯通常會用作光刻胶材料中的正性感光劑 2 3 在这种应用中 重氮萘醌會與酚醛树脂混合 以作为溶解抑制剂 在曝光的过程中 部分光刻胶膜會暴露在光线下 而其他部分則不會 在未曝光的區域裡 含有重氮萘醌的光刻胶膜仍然會不溶于水基顯影液中 而在曝光的區域裡 重氮萘醌會形成烯酮 由此再与环境中的水形成可溶於鹼的茚並羧酸 光刻胶膜中已曝光的區域因而可溶于鹼性溶劑 從而將光刻膠層中的圖形顯現出來 参考文献 编辑 N C de Lucas J C Netto Ferreira J Andraos J C Scaiano Nucleophilicity toward Ketenes Rate Constants for Addition of Amines to Aryl Ketenes in Acetonitrile Solution J Org Chem 2001 66 5 5016 5021 PMID 11463250 doi 10 1021 jo005752q Chemical Information Review Document for Diazonaphthoquinone Derivatives Used in Photoresists 页面存档备份 存于互联网档案馆 National Toxicology Program January 2006 Integrated Circuits A Brief History 2018 08 30 原始内容存档于2020 02 22 取自 https zh wikipedia org w index php title 重氮萘醌 amp oldid 70496809, 维基百科，wiki，书籍，书籍，图书馆，
