氟甲烷，也稱為甲基氟、氟利昂41、HFC-41，其化學式為CH3F，在常溫常壓下是無毒、可液化的可燃氣體，是甲烷的一氟取代物。氟甲烷用在半導體及電子產品的製程中，在射频场下氟甲烷會溶解氟離子，可選擇性的蝕刻矽化合物的薄膜，即反应离子刻蚀。
| 氟甲烷 |
|---|
| |
IUPAC名
Fluoromethane |
| 别名 | 甲基氟、氟利昂41、HFC-41、R-41 |
| 识别 |
|---|
| 缩写 | R41 |
| CAS号 | 593-53-3
558-21-4（2H3） N
20666-44-8（13C） N |
| PubChem | 11638（2H3）
450707（11C）
12336970（13C）
9833918（17F）
450725（18F）
11638 |
| ChemSpider | 11148 (2H3), 396977 (11C), 21170290 (13C), 8009639 (17F), 396995 (18F), 11148 |
| SMILES | |
| InChI | |
| InChIKey | NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYAF |
| Beilstein | 1730725 |
| Gmelin | 391 |
| UN编号 | UN 2454 |
| EINECS | 209-796-6 |
| ChEBI | 28826 |
| KEGG | C11147 |
| MeSH | Fluoromethane |
| 性质 |
|---|
| 化学式 | CH3F |
| 摩尔质量 | 34.03 g·mol⁻¹ |
| 外观 | 無色無味氣體 |
| 密度 | 0.5786 kg/m3(20°C)
0.557 g/cm3(25°C氣體，飽和蒸氣壓) |
| 熔点 | -141.8 °C(131.4 K) |
| 沸点 | -78.2 °C(195.0 K) |
| 溶解性（水） | 1.66 l/kg (2.295 g/l) |
| 蒸氣壓 | 3.3 MPa at 20 °C |
| 结构 |
|---|
| 分子构型 | 四面体 |
| 危险性 |
|---|
欧盟危险性符号
|
| 警示术语 | R：R12 |
| 安全术语 | S：S9, S16, S23, S24/25, S26, S28, S33, S36/37/39, S60 |
| NFPA 704 | |
| 相关物质 |
|---|
| 相关化学品 | 氯甲烷、溴甲烷、碘甲烷、二氟甲烷、三氟甲烷、四氟化碳 |
| 若非注明，所有数据均出自标准状态（25 ℃，100 kPa）下。 |
性質
在氟甲烷中，C-F鍵的鍵能為552 kJ/mol，其鍵長為0.139 nm(典型的C-F鍵鍵長為0.14 nm)。分子構型為四面體。
氟甲烷25度時的比熱Cp為38.171 J.mol−1.K−1。臨界點為44.9 °C (318.1 K)及6.280 MPa。
氟甲烷是溫室氣體，其全球暖化潛勢(GWP)為150[1]。
參考資料
- ^ Sicherheitsdatenblatt bei AirLiquide[永久失效連結]
外部連結
- MSDS at Oxford University （页面存档备份，存于互联网档案馆）
- Data at Airliquide Encyclopedia[永久失效連結]
- Termochemical data at chemnet.ru （页面存档备份，存于互联网档案馆）
氟甲烷, 也稱為甲基氟, 氟利昂41, 其化學式為ch3f, 在常溫常壓下是無毒, 可液化的可燃氣體, 是甲烷的一氟取代物, 用在半導體及電子產品的製程中, 在射频场下會溶解氟離子, 可選擇性的蝕刻矽化合物的薄膜, 即反应离子刻蚀, iupac名fluoromethane别名, 甲基氟, 氟利昂41, 41识别缩写, r41cas号, n20666, npubchem, 11638, 450707, 12336970, 9833918, 450725, 11638chemspider, 11148, 396977,. 氟甲烷 也稱為甲基氟 氟利昂41 HFC 41 其化學式為CH3F 在常溫常壓下是無毒 可液化的可燃氣體 是甲烷的一氟取代物 氟甲烷用在半導體及電子產品的製程中 在射频场下氟甲烷會溶解氟離子 可選擇性的蝕刻矽化合物的薄膜 即反应离子刻蚀 氟甲烷IUPAC名Fluoromethane别名 甲基氟 氟利昂41 HFC 41 R 41识别缩写 R41CAS号 593 53 3 558 21 4 2H3 N20666 44 8 13C NPubChem 11638 2H3 450707 11C 12336970 13C 9833918 17F 450725 18F 11638ChemSpider 11148 2H3 396977 11C 21170290 13C 8009639 17F 396995 18F 11148SMILES FCInChI 1 CH3F c1 2 h1H3InChIKey NBVXSUQYWXRMNV UHFFFAOYAFBeilstein 1730725Gmelin 391UN编号 UN 2454EINECS 209 796 6ChEBI 28826KEGG C11147MeSH Fluoromethane性质化学式 CH3F摩尔质量 34 03 g mol 外观 無色無味氣體密度 0 5786 kg m3 20 C 0 557 g cm3 25 C氣體 飽和蒸氣壓 熔点 141 8 C 131 4 K 沸点 78 2 C 195 0 K 溶解性 水 1 66 l kg 2 295 g l 蒸氣壓 3 3 MPa at 20 C结构分子构型 四面体危险性欧盟危险性符号极易燃 F 警示术语 R R12安全术语 S S9 S16 S23 S24 25 S26 S28 S33 S36 37 39 S60NFPA 704 4 1 0 相关物质相关化学品 氯甲烷 溴甲烷 碘甲烷 二氟甲烷 三氟甲烷 四氟化碳若非注明 所有数据均出自标准状态 25 100 kPa 下 性質 编辑在氟甲烷中 C F鍵的鍵能為552 kJ mol 其鍵長為0 139 nm 典型的C F鍵鍵長為0 14 nm 分子構型為四面體 氟甲烷25度時的比熱Cp為38 171 J mol 1 K 1 臨界點為44 9 C 318 1 K 及6 280 MPa 氟甲烷是溫室氣體 其全球暖化潛勢 GWP 為150 1 參考資料 编辑 Sicherheitsdatenblatt bei AirLiquide 永久失效連結 外部連結 编辑National Pollutant Inventory Fluoride and compounds fact sheet MSDS at Oxford University 页面存档备份 存于互联网档案馆 Data at Airliquide Encyclopedia 永久失效連結 Termochemical data at chemnet ru 页面存档备份 存于互联网档案馆 取自 https zh wikipedia org w index php title 氟甲烷 amp oldid 69919072, 维基百科，wiki，书籍，书籍，图书馆，
文章
，阅读，下载，免费，免费下载，mp3，视频，mp4，3gp， jpg，jpeg，gif，png，图片，音乐，歌曲，电影，书籍，游戏，游戏。