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硅酸铪, 是铪的硅酸盐, 化学式hfsio4, iupac名hafnium, silicate, 系统名hafnium, silicate, 识别, cas号, 13870, pubchem, 17979268, chemspider, 16470992, smiles, 性质, 化学式, hfo4si, 摩尔质量, 外观, 四方晶体, 密度, 熔点, 2758, 3031, 若非注明, 所有数据均出自标准状态, 在现代半导体元件中, 可以使用由原子层沉积, 化学气相沉积或mocvd生长的和硅酸锆薄膜, 作为高κ电. 硅酸铪是铪的硅酸盐 化学式HfSiO4 硅酸铪 IUPAC名Hafnium IV silicate 系统名Hafnium 4 silicate 识别 CAS号 13870 13 8 N PubChem 17979268 ChemSpider 16470992 SMILES Hf 4 O Si O O O 性质 化学式 HfO4Si 摩尔质量 270 57 g mol 1 外观 四方晶体 1 密度 7 0 g cm3 熔点 2758 C 3031 K 1 若非注明 所有数据均出自标准状态 25 100 kPa 下 在现代半导体元件中 可以使用由原子层沉积 化学气相沉积或MOCVD生长的硅酸铪和硅酸锆薄膜 作为高k电介质替换二氧化钛 2 二氧化铪中的硅增大了能隙 同时降低相对电容率 此外 它还提高了非晶膜的结晶化温度 并进一步增强了材料在高温下与硅的热稳定性 3 有时会向硅酸铪中加入氮以提高热稳定性和设备的电性能 参考資料 编辑 1 0 1 1 Haynes William M CRC handbook of chemistry and physics a ready reference book of chemical and physical data 92nd Boca Raton FL CRC Press 英语 CRC Press 2011 4 66 ISBN 978 1 4398 5511 9 OCLC 730008390 英语 Mitrovic I Z Buiu O Hall S Bungey C Wagner T Davey W Lu Y Electrical and structural properties of hafnium silicate thin films Microelectronics Reliability April 2007 47 4 5 645 648 2015 04 11 doi 10 1016 j microrel 2007 01 065 原始内容存档于2015 09 24 J H Choi et al Development of hafnium based high k materials A review Materials Science and Engineering R 2011 72 6 97 136 2015 04 11 doi 10 1016 j mser 2010 12 001 原始内容存档于2015 09 24 引文格式1维护 显式使用等标签 link nbsp 这是一篇关于无机化合物的小作品 你可以通过编辑或修订扩充其内容 查论编 取自 https zh wikipedia org w index php title 硅酸铪 amp oldid 80775089, 维基百科,wiki,书籍,书籍,图书馆,