卢瑟福背散射分析 或卢瑟福背散射谱学 (R utherford B ackscattering S pectrometry,RBS ),有时候被称为高能离子散射谱学(High-Energy Ion Scattering,HEIS),是一种离子束分析技术,被用在材料科学 中,用以分析、测量材料的结构和组成。通过将一束确定能量的高能离子束(通常是质子 或α粒子 )打到待分析材料上,检测背向反射的离子的能量,即可确定靶原子的种类、浓度和深度分布。
卢瑟福背散射分析的基本原理详见卢瑟福散射 。
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