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三氟化氯

三氟化氯无机化合物 ,分子式为ClF3。这种物质气态时为淡黄色,有毒,有强腐蚀性,液态时为黄绿色,一般将其压缩成液体销售。该物质主要的用途是火箭燃料半导体行业中清洗和蚀刻,[2][3] 核反应堆加工燃料,[4] 以及一些其他用途。[5]

三氟化氯
识别
CAS号 7790-91-2  Y
PubChem 24637
SMILES
 
  • FCl(F)F
InChI
 
  • InChI=1S/ClF3/c2-1(3)4
UN编号 1749
RTECS FO2800000
性质
化学式 ClF3
摩尔质量 92.448 g·mol⁻¹
外观 淡黄色气体或液体
密度 1.77 g/cm3 (13 °C, 液态)
0.004 g/cm3 (气态)
熔点 −76.34 °C
沸点 11.75 °C
溶解性 水解
黏度 9.182 x 10−5 Pa s
结构
分子构型 T形
热力学
ΔfHm298K −158.87 kJ/mol [1]
S298K 281.59 J K−1 mol−1 [1]
危险性
MSDS ICSC 0656
欧盟编号 没有记录
主要危害 毒性, 腐蚀性, 氧化性.
NFPA 704
0
4
3
OX
相关物质
相关化学品 五氟化氯
一氟化氯
三氟化溴
若非注明,所有数据均出自标准状态(25 ℃,100 kPa)下。

制备、结构和性质 编辑

拉夫(Ruff)和克鲁格(Krug)在1930年氟化氯气并报告发现了这种物质。这个反应也生成一氟化氯,可以通过蒸馏使其分离。[6]

3 F2 + Cl2 → 2 ClF3

ClF3 形状大致是T形, 有一个短键 (1.598 Å) 和两个长键 (1.698 Å).[7] ,孤对电子占据两个赤道位置,与共价键一起形成一个三角双锥。这种结构与价层电子对互斥理论的预测一致。较长的Cl-F键与超价键一致.

纯净的ClF3在180℃以下的玻璃容器中是稳定的,一旦超过这个温度就会通过自由基反应分解。

ClF3主要用来生产六氟化铀(UF6),以及核燃料加工和后期处理,主要反应方程式:

U + 3 ClF3 → UF6 + 3 ClF

危害 编辑

ClF3是一种很强的氧化剂氟化剂。它能与大多数无机物有机物甚至塑料反应,可以使许多材料不接触明火就燃烧。这些反应通常很剧烈,在某些情况下甚至会爆炸。它与一些金属反应生成氯化物氟化物,与反应生成三氯化磷五氟化磷,而与反应生成二氯化硫四氟化硫。 ClF3也与水剧烈反应,水解产生有毒物质,例如氟化氢H2S在室温下与ClF3混合就会爆炸。

超过氧氣的氧化性使ClF3能腐蚀通常视为不可燃的含氧材料。在一起工業意外中,900千克ClF3泄漏,烧穿了下面30厘米厚的混凝土和90厘米厚的礫石。[8] 任何和三氟化氯接觸的設備必須经过仔細挑選和清潔, 因為任何污染都可以烧穿钝化膜,使它来不及重新生成。

应用 编辑

军事应用 编辑

火箭推进剂 编辑

三氟化氯已經發展成火箭推進劑的高性能可儲存氧化劑。然而一些處理上的問題使它受限,約翰·D·克拉克英语John Drury Clark在其著作《Ignition!: An informal history of liquid rocket propellants》[9]中阐述了以下困難:

半导体工业 编辑

在半导体工业中,三氟化氯被用于清洁化学气相沉积的反应舱。[12] 它具有不需拆卸反应舱就可以清除舱壁附着的半导体物质这一优点。[12] 与其它代替的清洁剂不同,三氟化氯在使用前不需经过等离子体激化,因为反应舱残存的热量就足以使它分解并与半导体材料反应。[12]

参考资料 编辑

  1. ^ 1.0 1.1 NIST Chemistry Webbook
  2. ^ Hitoshi Habuka, Takahiro Sukenobu, Hideyuki Koda, Takashi Takeuchi, and Masahiko Aihara. Silicon Etch Rate Using Chlorine Trifluoride. Journal of the Electrochemical Society. 2004, 151 (11): G783–G787. doi:10.1149/1.1806391. 
  3. ^ . [2010-10-03]. (原始内容存档于2007-09-26). 
  4. ^ Board on Environmental Studies and Toxicology, (BEST). Acute Exposure Guideline Levels for Selected Airborne Chemicals: Volume 5. Washington D.C.: National Academies Press. 2006: 40. ISBN 0-309-10358-4. 
  5. ^ . [2010-10-03]. (原始内容存档于2007-09-26). 
  6. ^ Otto Ruff, H. Krug. Über ein neues Chlorfluorid-CIF3. Zeitschrift für anorganische und allgemeine Chemie. 1931, 190 (1): 602–608. doi:10.1002/zaac.19301900127. 
  7. ^ Smith, D. F. The Microwave Spectrum and Structure of Chlorine Trifluoride. The Journal of Chemical Physics (AIP Publishing). 1953, 21 (4): 609–614. ISSN 0021-9606. doi:10.1063/1.1698976. 
  8. ^ Air Products Safetygram. (PDF). [2014-02-16]. (原始内容 (PDF)存档于2006-03-18). 
  9. ^ 9.0 9.1 Clark, John D. Ignition!. UMI Books on Demand. 2001. ISBN 0-8135-0725-1. 
  10. ^ ClF3/Hydrazine 互联网档案馆的,存档日期2007-02-02. at the Encyclopedia Astronautica.
  11. ^ Clark, John D. Ignition! An Informal History of Liquid Rocket Propellants. Rutgers University Press. 1972: 214. ISBN 0813507251. 
  12. ^ 12.0 12.1 12.2 In Situ Cleaning of CVD Chambers. Semiconductor International. 1999-01-06. [永久失效連結]

三氟化氯, 是无机化合物, 分子式为clf3, 这种物质气态时为淡黄色, 有毒, 有强腐蚀性, 液态时为黄绿色, 一般将其压缩成液体销售, 该物质主要的用途是火箭燃料, 半导体行业中清洗和蚀刻, 核反应堆加工燃料, 以及一些其他用途, 识别cas号, 7790, ypubchem, 24637smiles, finchi, inchi, clf3, 4un编号, 1749rtecs, fo2800000性质化学式, clf3摩尔质量, 外观, 淡黄色气体或液体密度, 液态, 气态, 熔点, c沸点, c溶解性, 水. 三氟化氯是无机化合物 分子式为ClF3 这种物质气态时为淡黄色 有毒 有强腐蚀性 液态时为黄绿色 一般将其压缩成液体销售 该物质主要的用途是火箭燃料 半导体行业中清洗和蚀刻 2 3 核反应堆加工燃料 4 以及一些其他用途 5 三氟化氯识别CAS号 7790 91 2 YPubChem 24637SMILES FCl F FInChI InChI 1S ClF3 c2 1 3 4UN编号 1749RTECS FO2800000性质化学式 ClF3摩尔质量 92 448 g mol 外观 淡黄色气体或液体密度 1 77 g cm3 13 C 液态 0 004 g cm3 气态 熔点 76 34 C沸点 11 75 C溶解性 水 水解黏度 9 182 x 10 5 Pa s结构分子构型 T形热力学DfHm 298K 158 87 kJ mol 1 S 298K 281 59 J K 1 mol 1 1 危险性MSDS ICSC 0656欧盟编号 没有记录主要危害 毒性 腐蚀性 氧化性 NFPA 704 0 4 3 OX相关物质相关化学品 五氟化氯一氟化氯三氟化溴若非注明 所有数据均出自标准状态 25 100 kPa 下 目录 1 制备 结构和性质 2 危害 3 应用 3 1 军事应用 3 2 火箭推进剂 3 3 半导体工业 4 参考资料制备 结构和性质 编辑拉夫 Ruff 和克鲁格 Krug 在1930年氟化氯气并报告发现了这种物质 这个反应也生成一氟化氯 可以通过蒸馏使其分离 6 3 F2 Cl2 2 ClF3ClF3 形状大致是T形 有一个短键 1 598 A 和两个长键 1 698 A 7 孤对电子占据两个赤道位置 与共价键一起形成一个三角双锥 这种结构与价层电子对互斥理论的预测一致 较长的Cl F键与超价键一致 纯净的ClF3在180 以下的玻璃容器中是稳定的 一旦超过这个温度就会通过自由基反应分解 ClF3主要用来生产六氟化铀 UF6 以及核燃料加工和后期处理 主要反应方程式 U 3 ClF3 UF6 3 ClF危害 编辑ClF3是一种很强的氧化剂 氟化剂 它能与大多数无机物 有机物甚至塑料反应 可以使许多材料不接触明火就燃烧 这些反应通常很剧烈 在某些情况下甚至会爆炸 它与一些金属反应生成氯化物和氟化物 与磷反应生成三氯化磷和五氟化磷 而与硫反应生成二氯化硫和四氟化硫 ClF3也与水剧烈反应 水解产生有毒物质 例如氟化氢 H2S在室温下与ClF3混合就会爆炸 超过氧氣的氧化性使ClF3能腐蚀通常视为不可燃的含氧材料 在一起工業意外中 900千克ClF3泄漏 烧穿了下面30厘米厚的混凝土和90厘米厚的礫石 8 任何和三氟化氯接觸的設備必須经过仔細挑選和清潔 因為任何污染都可以烧穿钝化膜 使它来不及重新生成 应用 编辑军事应用 编辑 此章节尚無任何内容 需要扩充 2022年11月28日 火箭推进剂 编辑 三氟化氯已經發展成火箭推進劑的高性能可儲存氧化劑 然而一些處理上的問題使它受限 約翰 D 克拉克 英语 John Drury Clark 在其著作 Ignition An informal history of liquid rocket propellants 9 中阐述了以下困難 这种物质毒性自然极强 但這并不是最重要的問題 其与任何燃料相遇都會燃烧 而且這一过程发生速度是如此之快以致於測量不到點火延遲 它和衣服 木頭 測試工程師们接觸都會燃烧 一些常识中的不燃物质如石棉 砂子和水与三氟化氯接触也无一幸免 尤其和水反应會产生爆炸 它可以被存放在某些工程金屬裡 鋼 銅 鋁等 因為在界面处形成稳定氟化物薄膜隔离了金屬和三氟化氯 就像鋁表面那层不易被发觉的致密氧化鋁 保护鋁不至在空氣中变成粉末 值得注意 当這層氟化物融化或被刮伤 且无法及时再次形成时 消防员就要面對一场金屬 三氟化氯反应引发的火灾 對於应对这种事故 我一直以來都建议实验人员为自己准备一雙好跑鞋 9 10 11 半导体工业 编辑 在半导体工业中 三氟化氯被用于清洁化学气相沉积的反应舱 12 它具有不需拆卸反应舱就可以清除舱壁附着的半导体物质这一优点 12 与其它代替的清洁剂不同 三氟化氯在使用前不需经过等离子体激化 因为反应舱残存的热量就足以使它分解并与半导体材料反应 12 参考资料 编辑 1 0 1 1 NIST Chemistry Webbook Hitoshi Habuka Takahiro Sukenobu Hideyuki Koda Takashi Takeuchi and Masahiko Aihara Silicon Etch Rate Using Chlorine Trifluoride Journal of the Electrochemical Society 2004 151 11 G783 G787 doi 10 1149 1 1806391 United States Patent 5849092 Process for chlorine trifluoride chamber cleaning 2010 10 03 原始内容存档于2007 09 26 Board on Environmental Studies and Toxicology BEST Acute Exposure Guideline Levels for Selected Airborne Chemicals Volume 5 Washington D C National Academies Press 2006 40 ISBN 0 309 10358 4 United States Patent 6034016 Method for regenerating halogenated Lewis acid catalysts 2010 10 03 原始内容存档于2007 09 26 Otto Ruff H Krug Uber ein neues Chlorfluorid CIF3 Zeitschrift fur anorganische und allgemeine Chemie 1931 190 1 602 608 doi 10 1002 zaac 19301900127 Smith D F The Microwave Spectrum and Structure of Chlorine Trifluoride The Journal of Chemical Physics AIP Publishing 1953 21 4 609 614 ISSN 0021 9606 doi 10 1063 1 1698976 Air Products Safetygram 存档副本 PDF 2014 02 16 原始内容 PDF 存档于2006 03 18 9 0 9 1 Clark John D Ignition UMI Books on Demand 2001 ISBN 0 8135 0725 1 ClF3 Hydrazine 互联网档案馆的存檔 存档日期2007 02 02 at the Encyclopedia Astronautica Clark John D Ignition An Informal History of Liquid Rocket Propellants Rutgers University Press 1972 214 ISBN 0813507251 12 0 12 1 12 2 In Situ Cleaning of CVD Chambers Semiconductor International 1999 01 06 永久失效連結 取自 https zh wikipedia org w index php title 三氟化氯 amp oldid 74823570, 维基百科,wiki,书籍,书籍,图书馆,

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