微技术（英語：Micro-technology）包含了微機電感測和控制、驅動元件製程開發技術、微機電系統整合技術、射頻(RF MEMS)、光學（Optical MEMS）、生物醫學（Bio MEMS）、電腦與週邊（Computer Peripheral MEMS）微機電系統研究[1][2]。
一块蚀刻硅片 参考 编辑
微技术, 提示, 此条目的主题不是刀具, 英語, micro, technology, 包含了微機電感測和控制, 驅動元件製程開發技術, 微機電系統整合技術, 射頻, mems, 光學, optical, mems, 生物醫學, mems, 電腦與週邊, computer, peripheral, mems, 微機電系統研究, 一块蚀刻硅片参考, 编辑, 王伯雄等编著, 微纳米测量技术, 北京, 清华大学出版社, 2006, isbn, 13063, 请检查, date, 中的日期值, 帮助, 杨继全, 朱玉芳编著. 提示 此条目的主题不是微技术刀具 微技术 英語 Micro technology 包含了微機電感測和控制 驅動元件製程開發技術 微機電系統整合技術 射頻 RF MEMS 光學 Optical MEMS 生物醫學 Bio MEMS 電腦與週邊 Computer Peripheral MEMS 微機電系統研究 1 2 一块蚀刻硅片参考 编辑 王伯雄等编著 微纳米测量技术 北京 清华大学出版社 2006 08 2 3 ISBN 7 302 13063 9 请检查 date 中的日期值 帮助 杨继全 朱玉芳编著 先进制造技术 北京 化学工业出版社 2004 09 237 ISBN 7 5025 5961 2 请检查 date 中的日期值 帮助 nbsp 这是一篇與科技相關的小作品 你可以通过编辑或修订扩充其内容 查论编 取自 https zh wikipedia org w index php title 微技术 amp oldid 72611368, 维基百科，wiki，书籍，书籍，图书馆，
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